Boron11 Trichloride Semiconductor Dopant Semiconductor Dry ætsning
Produktintroduktion
Ved normal temperatur og tryk er bortrichlorid (BCL 3 ) farveløs røggas, som er brandfarlig, skarp, sur lugt. Bortrichlorid nedbrydes i saltsyre og borsyre og frigiver en masse varme, der støder på med vand, det genererer røg i våd luft på grund af hydrolyse, og Bcl 3 nedbrydes til saltsyre og borsyreester i alkohol. Bortrichlorid har en stærk reaktionsevne og kan danne en række koordinationsforbindelser. Bortrichlorid kan reagere med glas og keramik, når den opvarmes, og det reagerer også med mange organiske forbindelser for at danne en række organoboronforbindelser. Trichlorid med høj renheds renhed anvendes hovedsageligt til diffusionsdoping i fremstillingsprocessen for (silicium) halvlederindretninger. Borforureninger genereres ved nedbrydning af BCL 3 og diffunderer mod silicium for at danne P-type halvleder ved høj temperatur. Bcl 3 kan også bruges til tør ætsning af Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI og andre materialer.
Kvalitetsspecifikation
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Ansøgning
Bortrichlorid kan bruges til at fremstille høj ren bor, katalysator til organisk syntese, fluxingmiddel til silikatnedbrydning, og det anvendes også som additiv af deoxidizer, nitrider og carbider i legeringsraffinering. High Pure Boron11 Trichlorid anvendes hovedsageligt til diffusionsdoping, ionimplantation, tør ætsning og andre processer i halvlederindretninger og integreret kredsløbsproduktion.
Emballage og opbevaring
Boron11 Trichlorid fyldes i cylinderen. Cylinderen fyldt med Boron11 Trichloride er i overensstemmelse med de relevante bestemmelser i GB14193. Emballagespecifikationerne inkluderer 10L og 47L. Produktet gemmes i et skyggefuldt, tørt og ventileret lagerrum under 60 ℃ . Det er forbudt at udsætte for solen og holder sig væk fra varmekilder. Pakken skal forsegles, og den skal opbevares separat med alkali og andre farlige artikler.
Contact Now
